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高純致密氧化鎂靶材及其制備方法

746   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 14:58:01
本發明屬于新材料制造及應用技術領域，具體涉及一種高純致密氧化鎂靶材及其制備方法。本發明對行星球磨的氧化鎂粉末進行冷等靜壓成型后真空燒結，得到近凈成形高純致密氧化鎂靶材。其中，真空燒結溫度為1400～1550℃，保溫時間為2～10h，真空度為0.1～1.0Pa。該法制備的高純致密氧化鎂靶材的致密度為98.36％以上，雜質元素總含量為100ppm以下，平均晶粒尺寸為7μm以下，尺寸偏差為3.0μm以下，表面粗糙度Ra低于0.4μm。本發明制備的氧化鎂靶材純度和致密度高、晶粒細小均勻，本發明制備方法生產周期短、生產成本低、生產效率高、可批量生產。
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