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鉭釕合金靶材及其制備方法

1148   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 14:58:01
本發明涉及一種鉭釕合金靶材的制備方法，包括依次進行的如下步驟：將鉭粉和釕粉混合均勻后進行冷等靜壓壓成塊狀，然后真空燒結；真空燒結之后再進行真空電子束熔煉獲得高純鉭釕合金錠；將高純鉭釕合金錠進行徑向熱鍛和退火處理；接著進行縱向墩粗和退火處理；然后進行熱軋、冷軋、再結晶退火處理；最后將高純鉭釕合金錠與背板焊接即得所述的鉭釕合金靶材。本發明將鉭釕合金錠進一步滴熔成純度更高、氧含量更低的高純鉭釕合金錠，在這過程中，一些低熔點的雜質可以通過揮發而被除去；另外，本發明通過徑向熱鍛、縱向墩粗、熱軋、冷軋等步驟，使得鉭釕合金錠的晶粒小于100微米。
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聲明：
“鉭釕合金靶材及其制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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