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雙面燒結卡具、壓接式IGBT模塊燒結方法及其制得的子模組

747   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 14:58:01
本發明提供了一種功率芯片雙面燒結的壓接式IGBT模組的制備方法，該方法包括：從下至上將下鉬片、焊片、IGBT芯片、焊片和上鉬片組裝到燒結卡具中；組裝限位銷壓制壓片；用連續真空燒結爐燒結得單芯片燒結連接結構；從下至上依次組裝的塑料框架、彈簧探針和燒結結構，得所述單芯片壓接子模組。本發明提供的制備方法用連續式真空燒結爐，能夠大規模燒結芯片，極大地縮短了工序時長，效率高，速度快；本發明中提供的燒結方法采用的燒結卡具與壓片，解決了芯片與鉬片燒結后的對中問題，并且可以確保燒結后結構的厚度差值可控制在8μm以下。
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