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減小大尺寸反應燒結碳化硅內應力的工藝

999   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 14:58:01
本發明公開了一種減小大尺寸反應燒結碳化硅內應力的燒結工藝，包括如下步驟：提供一真空燒結爐，真空燒結爐設有多組加熱器，待燒結的坯體置于多組加熱器中間；用碳化硅粉通過凝膠注模工藝并脫脂制成碳化硅素坯；將一定質量的硅放到碳化硅素坯試樣上，然后一起放入真空燒結爐中按照設定的程序進行燒結，本發明通過控制硅的凝固方向，減小反應燒結碳化硅坯體內因硅的凝固膨脹而產生的內應力。該工藝可以使硅凝固時的體積膨脹不會集中到坯體某一部分，而且體積膨脹有釋放的通道，即硅的凝固膨脹不受約束，消除其在坯體內產生的應力。
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“減小大尺寸反應燒結碳化硅內應力的工藝” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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