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用于管狀靶材的真空燒結系統

994   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
2023-03-18 14:57:02
本發明公開了一種用于管狀靶材的真空燒結系統,第一壓蓋設置有第一模具,第二壓蓋設置有第二模具,第一模具與第二模具配合用于成型,第一保溫殼與第二保溫殼形成的加熱腔內設置有加熱裝置;第一壓蓋設置在機架上,第二壓蓋固定連接在加壓裝置的輸出端,加壓裝置固定連接在機架上;加壓裝置包括恒壓裝置和反饋裝置,恒壓裝置用于提供穩定壓力,反饋裝置用于提供附加壓力;通過反饋系統以位置為依據,當第一模具逐漸靠近第二模具時,反饋裝置提供的附加壓力逐漸變大,使素坯所受壓力在燒結過程為逐漸變大,較小的初始力避免過早得出較大的晶粒,靶材燒結過程中各部位的累積受力的差異縮小,從而使各部位的晶粒的大小趨于均勻。
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