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電子束高效提純多晶硅粉體的設備

928   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
2023-03-18 14:53:02
本實用新型屬于用物理冶金技術提純多晶硅的技術領域。一種電子束高效提純多晶硅粉體的設備,設備中由真空蓋、爐壁和裝粉蓋組成真空設備,真空設備內腔是真空室;真空室內上部裝有裝粉桶,裝粉桶頂部帶有裝粉蓋,裝粉蓋位于真空爐壁上,裝粉桶底部帶有出料口,出料口裝配有外驅式擋粉板,裝粉桶出料口底部裝有熔煉坩堝,熔煉坩堝底部通過支撐桿固定在真空室底部,熔煉坩堝出料口下方放置拉錠機構,電子槍安裝在真空室上部,電子束流對準硅塊。本實用新型設備簡便、技術穩定、能源消耗少、成本低、整個設備同時應用電子束熔煉硅粉和定向凝固技術,從而實現除磷和除金屬的雙重效果,適合批量生產硅材料。
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