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電子束除磷、除金屬的耦合提純多晶硅的設備

819   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 14:53:02
本實用新型屬于用物理冶金技術提純多晶硅的技術領域。一種電子束除磷、除金屬的耦合提純多晶硅的設備,設備采用真空蓋、真空爐壁及裝粉蓋構成真空設備,真空設備內腔為真空室;真空室內上部裝有裝粉桶,裝粉桶底部帶有出料口,出料口裝配有外驅式擋粉板,裝粉桶出料口底部裝有坩堝,坩堝底部裝有拉錠機構,拉錠機構上裝有硅錠,電子槍安裝在真空室上部,電子束流對準硅錠。本實用新型設備結構簡單,同時進行電子束熔煉粉體硅料和定向凝固,用電子束快速去除雜質磷,用定向凝固將分凝系數較小的金屬雜質去除,有效提高了多晶硅的純度,達到了太陽能級硅的使用要求。本實用新型成本低,適合批量生產。
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電冶金技術
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