本實用新型屬于冶金熔煉領域,特別涉及一種電子束熔煉多晶硅除氧與鑄錠耦合的設備,該設備包括電子束熔煉組件和鑄錠耦合組件,電子束熔煉組件包括安裝于爐體內上部的水冷傳輸帶,該水冷傳輸帶一側的爐體壁上設置有加料裝置,該加料裝置的出料口位于水冷傳輸帶上方,該水冷傳輸帶另一側向下傾斜并設有導流口,該水冷傳輸帶頂部爐體上固定安裝有熔煉用電子槍和輻射用電子槍;鑄錠耦合組件包括鑄錠裝置,鑄錠裝置位于水冷傳輸帶下方,且水冷傳輸帶的導流口位于鑄錠裝置的石英坩堝中心的正上方,本實用新型首次提出了電子束熔煉除氧的設備,實現了電子束除氧的效果,同時結合鑄錠耦合,降低了鑄錠加熱原料所需的能耗,大大提高了生產效率。
聲明:
“電子束熔煉多晶硅除氧與鑄錠耦合的設備” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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