本實用新型涉及一種多級羅茨式無油真空泵,該泵由主從動軸、主從動轉子、兩端側蓋、泵體、級間隔板、主從動齒輪構成,其中泵體采用兩片分體結構,兩片泵體中有各自的水冷夾層,泵體隨轉子級數不同分有多個相對獨立的泵腔,兩極泵腔之間有兩片分體式的級間隔板分開,并通過級間氣流通道相連,轉子端面形成采用三葉形,本實用新型與已有技術比較有如下優點:工作時經過逐級壓縮,增大壓縮比提高極限真空度,節約能源,在抽速相同的情況下減小了泵的體積,同時降低了氣流脈動沖擊,減小噪音,并且實現直排大氣,不需要接前級泵即可工作,在抽氣過程中可保持真空環境不受污染,適用于半導體、石化、冶金、食品、醫藥、電子、包裝、印刷等行業。
聲明:
“多級羅茨式無油真空泵” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)