本實用新型公開了一種電子束熔煉爐用整料進料裝置,其由進料箱體、推料機構和進料輥道組成;進料箱體后端封閉,前端工作時與爐室連接并聯通形成真空工作環境室;推料裝置安裝在進料箱體內的上部,其包括一由第一電機減速機驅動旋轉的絲杠及套設在絲杠上的第一螺母滑塊,第一螺母滑塊的底端固定連接用以推動坯料的推動桿;一進料輥道,其通過輥道支點和輥道支撐輪安裝在進料箱體內的底部。進料輥道通過一組絲杠調節裝置實現橫向位移。所述的電子束熔煉爐用整料進料裝置中,進料輥道的行進方式為直線前進和擺動前進方式中的最少一種。其是實現低成本、高品質的冶金物理法制備太陽能級多晶硅的有效設備。
聲明:
“電子束熔煉爐用整料進料裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)