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氧化鋅鎵磁控濺射靶材的制備方法

1101   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 14:51:19
本發明屬于屬于氧化鋅材料技術領域，尤其是一種氧化鋅鎵磁控濺射靶材的制備方法，本發明本身具有粘結定型作用，而羥基氧化鎵本身又可以在高溫燒結下形成氧化鎵，既實現了鎵摻雜的目的，又無需使用聚乙烯醇等有機膠黏劑無需排膠，一舉多得。以往采用有機粘結劑也好，氧化鋅粉末物理直接混合也好，實際上并不能充分混合均勻，會發生局部富集，且因為有機粘結成分分解形成較大氣孔洞的存在以及氧化物的不均勻分布，以往的機械混粉工藝嚴重影響了制備的氧化鋅等濺射靶材的質量。本發明公開的方法規避了傳統方法帶來的缺陷，適用于粉末冶金生產的用于磁控濺射沉積節能Low?E玻璃的功能介質層以及薄膜太陽能電池透明電極層等膜層的氧化鋅鎵磁控濺射靶材。
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