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旋轉和吹氣誘導反向凝固提純多晶硅的設備

1003   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 14:51:13
本實用新型屬于冶金提純技術領域，特別涉及一種旋轉和吹氣誘導反向凝固提純多晶硅的設備。該設備由水冷盤活動安裝于真空腔室底部，石墨板置于水冷盤頂端，石墨板上開有孔，石墨支柱一端通過孔與石墨板嵌套連接，另一端與石墨托盤嵌套連接，坩堝置于石墨托盤上，石墨發熱體套于坩堝外圍，碳氈保溫桶套于石墨發熱體外，碳氈保溫蓋上開有孔，置于碳氈保溫桶頂端，感應線圈套于碳氈保溫桶外，吹氣管路活動安裝于真空腔室頂端，吹氣管路的吹氣口位于坩堝正上方中心位置。本實用新型的設備是在原有定向凝固設備的基礎之上增加坩堝旋轉和吹氣的功能，設備改造安裝方便，操作簡單，能有效去除鑄錠尾部富集的雜質，節約了生產周期和成本，適用于工業化大規模生產。?
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“旋轉和吹氣誘導反向凝固提純多晶硅的設備” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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