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去除硅材料表面雜質的方法

761   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 14:50:33
本發明公開了一種去除硅材料表面雜質的方法，屬于新能源材料制備技術領域。本方法利用強流脈沖電子束輻照處理硅材料，通過瞬時高能量注入引發表面蒸發和表層噴發過程，發揮表面蒸發去除雜質和熔體噴發去除深層雜質的雙重效果，獲得具有一定厚度且符合太陽能電池制造使用要求的表層高純多晶硅材料。本方法可對不經任何提純預處理的冶金多晶硅原料、其他提純工藝生產的中間硅材料，以及生產使用中表面出現污染和服役性能下降的回收成品硅材料直接進行表面提純處理，具有操作簡單、投資低、能耗低和無環境排放污染等優點。
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“去除硅材料表面雜質的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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