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電子束誘導定向凝固除雜的方法

1034   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 14:50:29
本發明屬于多晶硅提純的技術領域，特別涉及一種利用電子束誘導技術進行定向凝固除雜的方法。該方法首先取鋁、鈣含量高的冶金級多晶硅，將其清洗烘干后置于坩堝內，抽取真空后啟動電子槍，以400-700mA的束流轟擊多晶硅，至全部熔化，形成熔池，持續熔煉30-60min；然后采用對數降束的方式降低電子束的束流，待電子束束流降低到100-150mA時，停止降束，熔體緩慢凝固形成鑄錠，關閉束流，可得到低鋁、低鈣的多晶硅鑄錠。本發明充分利用了雜質在硅中的蒸發效應和分凝效應，實現了電子束熔煉蒸發與定向凝固兩種除雜方式的優勢互補，保證了一次熔煉后雜質鋁和鈣可以被去除到滿足太陽能電池性能要求的程度，減少了工藝環節，降低了能耗，有利于大規模推廣應用。
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“電子束誘導定向凝固除雜的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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