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鉬鈮合金靶材板的制備方法

785   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 14:50:26
本發明公開了一種鉬鈮合金靶材板的制備方法，將鉬粉放入氣流磨中，通入氬氣，調節氣體壓力得到三種粒度分布的鉬粉；將鈮粉放入氣流磨中，通入氬氣，調節氣體壓力得到三種粒度分布的鈮粉；分別將鉬粉與鈮粉混合得到三種粒度分布的鉬鈮合金粉；將鉬鈮合金粉末壓制成坯料，置于中頻爐中氫氣燒結，即得到鉬鈮合金靶材板。本發明鉬鈮合金靶材板的制備方法，操作簡單、成本低，通過粉末冶金方法即可直接燒制出高質量的鉬鈮合金靶材板，本發明三種不同粒度分布的鉬鈮合金粉經過冷等靜壓壓制出板坯，中頻氫氣燒制出密度大于9.8g/cm3、O含量低于1000ppm的高品質鉬鈮合金靶材板。
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