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熱電器件封裝界面及其連接方法

911   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 14:50:21
本發明通過在鎳金屬層上制備針錐錐底直徑為200?500納米、長度為400?1000納米的鎳納米針錐結構層A作為連接面，在銅金屬層制備針錐錐底直徑為200?500納米，針錐長度為400?1000納米的鎳納米針錐結構層B作為連接面，基于納米界面特殊的尺度效應，通過構造納米鍵合層，基于原子擴散實現250攝氏度以下的低溫冶金連接，能夠滿足較高的服役溫度，同時不同尺寸的納米結構鍵合后，會在界面形成柔性多孔連接結構，可以有效吸收服役過程界面熱應力能量，減少界面熱失配缺陷，提升器件服役壽命。該方法操作簡單，與微電子工藝兼容，在各類溫區熱電器件封裝中具有廣泛應用前景。
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