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在鋯表面滲鍍鉑薄膜的方法

1166   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 14:46:34
本發明公開了一種在鋯表面滲鍍鉑薄膜的方法，其方法為：將經預處 理后的鋯工件置入帶有加熱裝置的真空離子鍍膜機，預抽真空至1×10-3Pa， 加熱工件至500℃～800℃，保溫一定時間，通入氬氣，調節真空度至1～ 9×10-1Pa，對工件加載負偏壓800～2000V，開啟裝有鉑濺射靶的濺射源； 調節負偏壓至100～500V，再沉積一定時間，關閉濺射源，直到鋯工件溫 度低于100℃后取出。本發明通過控制鍍膜工藝參數可制備0.1～10μm的 鉑擴滲層和0.1～50μm鉑沉積層，制備的鉑擴滲層與基體鋯沒有明顯的界 面，呈冶金結合。
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聲明：
“在鋯表面滲鍍鉑薄膜的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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