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電子材料用高純鉭靶材的制備方法

1072   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 14:46:10
本發明涉及一種電子材料用高純鉭靶材的制備方法，屬于粉末冶金和半導體器件制造領域，所述制備方法是將高純鉭塊體首先進行粉碎，再球磨至粒度為5?150μm的鉭粉；將鉭粉混料后裝模，振實壓緊；然后將模具放入高溫熱壓爐，在1500?1800℃進行熱壓；燒結結束后冷卻至室溫出爐、脫模，得到高純鉭靶材的坯體，密度為11.3?14.5g/cm3。按照磁控濺射設備要求，將坯體進行切割加工，并按照用戶要求將加工后的坯體與相應的背板焊接，得到高純鉭靶材。采用本發明制備的高純鉭靶材，可顯著降低傳統鑄造法制備靶材的技術難度，工藝的可控性大大提高，有助于后期材料類鍍膜性能的提高。
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