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鉬鈮合金濺射靶材的制備工藝

1016   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 14:46:10
本發明屬于冶金材料技術領域，具體涉及一種鉬鈮合金濺射靶材的制備工藝，包括制粉、成型、真空燒結和機械加工步驟，所述制粉包括以下步驟：將鉬粉和鈮粉按照重量比為6?10 : 1的比例裝入球磨機中，然后加入過程控制劑和氧化鋯磨球，在氬氣保護下進行球磨，過篩，分離得到鉬鈮合金復合粉末；所述過程控制劑和氧化鋯磨球的重量分別為鉬粉和鈮粉總重量的0.01?0.05倍、5?20倍；所述的過程控制劑為硬脂酸鋅、棕櫚酸、硬脂酸乙酯、聚乙烯醇和硬脂酸中的一種或幾種。本發明所得鉬鈮合金濺射靶材為單一物相組織，組織均勻無孔洞，平均晶粒尺寸為40?65μm，其密度≥9.85g/cm3，性能優異，可廣泛的應用于平面顯示器等領域。
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