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鉬鈮合金濺射靶材的制備工藝

1016   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
2023-03-18 14:46:10
本發明屬于冶金材料技術領域,具體涉及一種鉬鈮合金濺射靶材的制備工藝,包括制粉、成型、真空燒結和機械加工步驟,所述制粉包括以下步驟:將鉬粉和鈮粉按照重量比為6?10 : 1的比例裝入球磨機中,然后加入過程控制劑和氧化鋯磨球,在氬氣保護下進行球磨,過篩,分離得到鉬鈮合金復合粉末;所述過程控制劑和氧化鋯磨球的重量分別為鉬粉和鈮粉總重量的0.01?0.05倍、5?20倍;所述的過程控制劑為硬脂酸鋅、棕櫚酸、硬脂酸乙酯、聚乙烯醇和硬脂酸中的一種或幾種。本發明所得鉬鈮合金濺射靶材為單一物相組織,組織均勻無孔洞,平均晶粒尺寸為40?65μm,其密度≥9.85g/cm3,性能優異,可廣泛的應用于平面顯示器等領域。
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