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金屬和非金屬元素等離子共滲工藝

842   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 14:46:10
金屬和非金屬元素的等離子共滲工藝,屬于表面冶金的范疇,主要解決金屬和非金屬元素等離子共滲的表面合金化問題。其特征在于:利用雙層輝光離子滲金屬技術,在通入惰性氣體的同時通入帶有非金屬元素的反應性氣體,使反應性氣體中的元素參與離子濺射、電離和滲入過程,在源極中的金屬元素滲入被滲金屬材料的同時,反應性氣體中的非金屬元素也同時滲入被滲金屬材料表面,從而實現一次形成金屬非金屬元素共滲的表面合金層。
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