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熱壓工藝制備硼化物濺射靶材

718   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 14:46:02
熱壓工藝制備硼化物濺射靶材,制備方法流程步驟依次為：將純度≥99.9％、粒度≤5μm的硼化物粉制成直徑為1～3mm的硼化物粒子；填入石墨模具內，再裝入熱壓爐，升溫加壓，保溫5～10h之后，再降溫制成毛坯，經過機加工后制得成品，相對密度為85％～90％，電阻率為1.0～3.5Ω·㎝；硼化物粉在高溫高壓下獲得致密塊，使其具有高相對密度，低電阻率，且均勻性好，穩定性高，具有良好的濺射性能，滿足靶材使用需求。該制備方法簡單易行，避免采用傳統粉末冶金壓制方法需要的復雜模具設計，極大地提高了成型效率，所得靶材濺射性能優良，雜質少，適用于濺射鍍膜。
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