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整體成形大長徑比鎢管靶材的制備方法

1163   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 14:45:27
本發明公開了一種磁控濺射鍍膜用整體成形大長徑比鎢管靶材的制備方法，該方法以純度為99.9％～99.999％的鎢粉為原料，將鎢粉裝入包套，然后真空熱除氣，將除氣完成的包套與成形工裝裝配在熱等靜壓機中壓制后通過機械加工獲得與背管整體綁定的大長徑比鎢管靶材；本發明制備的整體成形大長徑比鎢管靶材具有以下優點：(1)鎢管靶材致密度高，密度達到19.1g/cm3以上，相對密度大于99％；(2)氧含量在10～1000ppm可控；(3)晶粒細小均勻，平均晶粒尺寸100μm以下；(4)鎢管靶材的長徑比大于15：1，直線度小于3mm；(5)鎢管靶材層與背管達到冶金結合綁定良好，能夠滿足高端濺射鍍膜行業的需求。
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聲明：
“整體成形大長徑比鎢管靶材的制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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