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制備高純材料的粉末冶金方法

896   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 14:36:58
一種制備高純材料的粉末冶金方法，涉及一種用于電子、太陽能行業的高純金屬或高純陶瓷的濺射靶材料的制備方法。其特征在于其制備過程中以純度不低于99.9%的金屬粉末或陶瓷粉末為原料，其步驟包括：（1）將粉體進行成形；（2）將成形后的坯料進行預燒結；（3）將預燒結后的坯料進行最終燒結，獲得高純度、致密的材料。采用本發明的方法，在低的氣氛壓力下進行預燒結時，降低雜質熔點，創造了雜質的揮發條件，去除了材料中的低熔點雜質。尤其是降低了材料中的C、O、Si、Cr、Ca、K、Mg、Ti、Ni等雜質元素含量，顯著提高了制成品的純度，保證濺射靶材的產品質量。
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