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氮化-凈化去除冶金硅中硼雜質的方法

1004   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 14:36:22
一種氮化?凈化去除冶金硅中硼雜質的方法，屬于冶金材料領域。本發明向冶金級硅熔體中加入氮化劑，氮化劑的加入可將硅熔體中的硼雜質轉化為氮化物顆粒，而后對氮化后的硅熔體施加電磁力將氮化物顆粒向硅熔體周圍聚集，再將硅熔體和氮化物顆粒進行強制冷卻并分離，并利用上述分離出的富含氮化物顆粒的多晶硅生產氮化硅；由于氮化物顆粒與硅熔體之間存在明顯的導電率差異，因此在電磁力的作用下，氮化物顆粒會富集至熔體周圍，從而實現硼雜質和硅熔體的有效分離；此外，將富含氮化物顆粒的多晶硅粉碎，加入氯化銨并在流動性N2氣氛下氮化處理得到氮化硅產物；利用富含氮化物的多晶硅，實現資源的高效利用，提高技術經濟性。
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