本發明提供一種高純度二氧化硅與冶金級多晶硅的制法,高純度二氧化硅的制法是先將預定比例的二氧化硅均勻溶解于氟化氨水溶液中并加熱,再加入預定溫度的熱水于溶液中予以攪拌,并過濾固體殘留物,繼而將過濾后的溶液降溫至室溫,可獲致氟化硅銨鹽晶體,再重復前述二步驟預定次數可獲致預定純度的氟化硅銨鹽晶體,再導入大量氨氣并以預定溫度加熱氟化硅銨鹽晶體以進行化學反應,即可得到高純度二氧化硅。而冶金級多晶硅的制法是取氟化硅銨鹽為原料,將其置于容器內并通入氫/氬混合氣,再加熱該容器使氟化硅銨鹽、氫/氬混合氣產生還原反應,預定時間后停止加熱,使該容器自然冷卻,待其冷卻至適當溫度后停止通入氫/氬,最后,即可于該容器內產生冶金級多晶硅粉末。
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