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電子束爐熔煉多晶硅除硼和金屬雜質的方法

970   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 14:35:07
本發明涉及一種提純多晶硅去除硼和金屬雜質的方法，尤其是涉及一種電子束爐熔煉多晶硅除硼和金屬雜質的方法，其特征在于：該方法為首先對硅塊原料進行酸洗、水洗，然后在高溫電阻爐內進行高溫增氧預處理，將處理后的硅料裝入三槍電子束爐內進行熔煉，熔煉結束，待硅錠降溫至室溫，取出硅錠，去掉表皮和底端層，用硬質合金錘輕敲掉鑄錠上端芯部金屬雜質富集的疏松層，即得太陽能級多晶硅；本發明方法獨特、不僅能夠除磷和鈣、鈉等金屬，除硼和鐵、銅等金屬雜質效果也很明顯，除雜效率高，產量大，經濟效果顯著。
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“電子束爐熔煉多晶硅除硼和金屬雜質的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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濕法冶金
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