本發明屬于多晶硅提純領域,公開了一種采用硅鋁鈣合金精煉及定向凝固制備多晶硅的方法,包括:1)將待提純硅粉放入20~35℃的氫氟酸和過氧化氫的混合液中浸泡1~2h,過濾、水洗、過濾、烘干;2)將步驟1)得到的粗提硅粉與金屬鋁和金屬鈣放入感應熔煉爐中,往爐體中通入惰性氣體并使爐內溫度升至1703~1783℃后保溫1~10h,冷卻至室溫,得到硅鋁鈣合金;3)將步驟2)得到的硅鋁鈣合金研磨成粉之后依次采用混合酸Ⅰ和混合酸Ⅱ進行酸洗;4)將酸洗產物進行定向凝固,退火,得到二次精煉后的硅鋁鈣合金鑄錠;5)將二次精煉后的硅鋁鈣合金鑄錠切去頭部的20~40%。本發明對于多晶硅中的雜質,特別是磷雜質,具有很好的去除效果,從而得到高純度多晶硅。
聲明:
“采用硅鋁鈣合金精煉及定向凝固制備多晶硅的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)