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去除多晶硅中硼的方法

970   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 14:34:59
本發明公開了一種去除多晶硅中硼的方法，包括：將工業硅熔融后從反應坩堝頂部噴灑而下，將混合氣體從下往上輸送與熔融的工業硅接觸反應，同時將反應后的氣體及時抽去；所述混合氣體由載氣和氧化性氣體組成，所述氧化性氣體為氫氣、水蒸氣和氧氣中的一種或多種。本發明改變傳統直接將氧化性氣體通入硅液的方法，而是將硅液通過噴灑自由落下，而氧化性氣體從底部向上輸送，兩者在中間位置接觸反應，增加接觸面積，提高了硼等非揮發性元素的去除效率。
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聲明：
“去除多晶硅中硼的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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