一種摻雜氯化物的渣系去除工業硅中硼磷雜質的方法,涉及工業硅的提純方法。將工業硅加入石墨坩堝中;啟動中頻感應電源加熱,按功率增加依次添加造渣劑到石墨坩堝中;待物料熔化后,維持功率不變,反應溫度控制在1600~1800℃,使硅液和造渣劑混合反應;造渣充分后,降低中頻頻率,將渣系倒入應接水箱中,水冷后硅與渣基本分離,取樣經等離子電感耦合質譜儀分析測量硅中B,P雜質含量。采用摻雜氯化物作為造渣劑的組分,使得渣硅更容易分離,同時對硅中雜質B、P有非常明顯的去除效果,造渣完成后結合定向凝固和酸洗等工藝,可得到太陽能級多晶硅。整個工藝流程簡單快捷,安全性能好,非常適用于工業化生產。
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