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硅粉表面刻蝕裝置

1094   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 14:34:38
硅粉表面刻蝕裝置,屬于等離子體應用,目的在于縮短反應時間,減化結構,提高硅粉純化效率。本發明反應室上連接投料罐、出料罐和刻蝕氣體輸送系統,反應室內平行裝有板式陽極和陰極,陰極與水冷裝置連接,水冷裝置通過密封波紋管與反應室底部活動連接,水冷裝置底端通過振動轉換桿連接振動源;密封波紋管、振動轉換桿和振動源位于底架上,底架與反應室底部固定連接并安裝于傾角調整支架上。本發明傾斜式的振動陰極使粉?？偺幱陉帢O表面附近緩慢下滑,振動使粉粒均布于陰極,打散硅粉團塊,該處離子能量最高刻蝕速率也高,下滑時間高達5至10分鐘,因此可一次處理滿足刻蝕要求;由于只采用氬氣進行物理刻蝕,非常有利于環保和操作人員健康。
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