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連續制備高純金屬鑄錠的方法

764   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 14:34:26
本發明涉及一種連續制備重量純度≥99.999%的金屬鑄錠的方法。該方法的工藝步驟包括：（1）將重量純度≥99.999%的金屬物料裝爐、抽真空至10-3Pa以上；（2）連續進料裝置將步驟（1）的物料送入水冷坩堝中；（3）以電磁感應熔煉的方式對水冷坩堝中的金屬物料進行熔煉；（4）經步驟（3）熔煉后得到的熔體進入設置在水冷坩堝下方的水冷結晶器中，成型得到高純金屬鑄錠。本發明采用水冷銅坩堝感應熔煉與水冷結晶器成型結合，同時采用連續進料裝置，能夠實現連續鑄錠生產、提高效率，所制備的高純金屬鑄錠，具有純度高，鑄錠物理性能好、成材率高、產品規格多樣化等優點，滿足集成電路對于高端薄膜制備的性能要求。
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