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大尺寸釕基合金濺射靶材及其制備方法

865   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 14:33:13
本發明公開了一種大尺寸釕基合金濺射靶材及其制備方法，釕基合金靶材包括Al,Co，Cr等元素中的一種或幾種，其余為Ru，釕基合金靶材為圓餅狀，其直徑不小于100mm,致密度不低于99.5％,且其中心區域與邊緣區域的致密度差不超過0.3％，且Ru與其他合金元素形成的第二相均勻的分布在Ru基體相中。所述的釕基合金濺射靶材的制備方法，包括通過氣體霧化法制備熔點偏低的脆性相釕基合金粉末，再通過氣流磨處理該脆性相獲得了細小均勻的合金粉末，最后經粉末燒結制備出直徑尺寸在100mm以上的釕基合金靶材，本發明獲得的合金靶材雜質含量低，致密度高且均勻，成份分布均勻，晶粒細小均勻，使用該靶材濺射成膜的厚度均勻性，性能穩定以及減少了濺射過程的異常放電現象等。
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