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用于HVPE反應爐的限域生長環及氮化物晶體生長方法

1091   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 14:33:12
本發明公開了一種用于HVPE反應爐的限域生長環及氮化物晶體生長方法。本發明采用鎢、釕和鉬中的一種，或者采用鎢、釕和鉬中的一種的碳化物或氮化物的限域生長環，經過清洗、退火和激活使限域生長環的功能面具備化學活性；將限域生長環置于反應爐生長區中，生長過程中限域生長環對晶體側向生長進行限制，從而阻止晶體的邊緣生長，遏制生長過程中產生邊緣效應，減少生長過程中產生的應力，最終實現厘米級GaN體晶生長；本發明實現方法簡單，根據現有的技術水平能夠容易實現，并大量推廣；限域生長環能夠經過熱清洗后重復使用，節約了限域生長環的制作成本，經濟實用；限域生長環能夠根據不同HVPE反應爐生長區的不同結構進行優化設計，通用性強。
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聲明：
“用于HVPE反應爐的限域生長環及氮化物晶體生長方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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