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電極表面不同區域同時電沉積不同成分比例薄膜的方法

2096   編輯:中冶有色網   來源:常州大學  
2022-03-24 15:55:45
權利要求 1.在電極表面不同區域同時電沉積不同成分比例薄膜的方法,其特征在于:所述方法適用于合金電沉積,包括如下步驟: (1)根據電極基底表面的薄膜成分分布,將電極基底表面劃分為梯度磁場施加區域和非梯度磁場施加區域; (2)制備梯度磁場模板,所述梯度磁場模板上分布有鐵磁性金屬或合金,且鐵磁性金屬或合金構建成所需圖形; (3)磁場電沉積,將梯度磁場模板置于主磁體中,梯度磁場模板上分布的鐵磁性金屬或合金磁化,產生垂直于電極基底且平行于電流方向的梯度磁場,梯度磁場在電沉積過程中持續或間歇發生。 2.根據權利要求1所述的在電極表面不同區域同時電沉積不同成分比例薄膜的方法,其特征在于:步驟(2)中梯度磁場模板還包括樹脂基板,所述鐵磁性金屬或合金按所需圖形嵌裝在樹脂基板內。  3.根據權利要求1所述的在電極表面不同區域同時電沉積不同成分比例薄膜的方法,其特征在于:步驟(3)中以電極基底作為陰極,并將梯度磁場模板貼裝在電極基底上,然后整體放入電解槽內,控制梯度磁場模板與電解槽的內壁貼合,同時電極基底背離梯度磁場模板的一側與陽極相對且相互平行,梯度磁場模板一側的電解槽外壁上放置有鐵釹硼永磁體,電解槽內裝有電解液,電解液中含有至少一種具有順磁性的元素,然后在陰極和陽極間施加恒電壓,進行所述磁場電沉積過程。 說明書 在電極表面不同區域同時電沉積不同成分比例薄膜的方法 技術領域 本發明屬于電沉積技術領域,具體涉及在電極表面不同區域同時電沉積不同成分比例薄膜的方法。 背景技術 為滿足功能材料各異的性能需求,電沉積技術除了可以制備均勻的二維薄膜材料,還可以制備多種復雜結構。通過電位調控等手段可以在垂直于基底方向有效構筑各種沉積薄膜的結構與組成,但很難在基底電極的不同區域(橫向)對沉積薄膜組成及結構進行精準調控(見圖1),這種結構材料在各類電子器件中都有著重要的應用及前景,如橫向巨磁阻、橫向同/異質結、熱電器件等。 發明內容 本發明的目的是解決現有電沉積領域無法實現電極表面不同區域不同成分比例薄膜的可控制備的技術空白,提供一種簡單易行的在電極表面不同區域同時電沉積不同成分比例薄膜的方法,能精準控制鍍層在基底表面成分分布。 為了實現本發明
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