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電子束及渣濾熔煉提純多晶硅的方法及設備

925   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 14:32:43
本發明屬于用物理冶金技術提純多晶硅的技術領域。一種電子束及渣濾熔煉提純多晶硅的方法,在熔煉坩堝中加熱熔化造渣劑形成造渣劑熔液,并保持其液態,同時通過加料裝置向水冷銅坩堝中連續加入高磷、高硼和高金屬的多晶硅料,硅料在電子束轟擊下熔化成硅熔液,并熔煉去除雜質磷;除磷后的低磷硅熔液導流進入到造渣劑熔液之中,在熔入的過程中,硅熔液中的雜質硼與造渣劑反應去除雜質硼,加滿料后將熔煉坩堝中的熔液加熱保持液態熔煉3-10分鐘,定向凝固,切去硅錠頂部廢渣及金屬含量較高的硅塊即可。本發明綜合利用電子束熔煉除磷、渣濾熔煉除硼及定向凝固除金屬的技術去除多晶硅中的磷、硼和金屬雜質,提純效果好,生產效率高,適合批量生產。
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