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單晶硅的磨削方法

580   編輯:中冶有色網   來源:江蘇矽騰半導體材料有限公司  
2025-01-06 16:36:31
權利要求 1.一種單晶硅的磨削方法,其特征在于:包括, 將硅棒切割分為多個硅片樣本; 硅片樣本的磨削區域為圓形,切割的厚度以制造行業的標準來定,若在集成電路制造中,硅片的厚度在75100微米之間; 若在光伏行業的制造中,硅片的厚度在150微米到200微米(0.15毫米到0.2毫米)之間; 設定硅片樣本的磨削階段,分為磨削準備階段、磨削加工階段與磨削后處理階段; 獲取n個硅片樣本,進行編號,生成硅片樣本集合E,表示為E={,,...,},其中表示為第i個硅片樣本,n為硅片樣本個數; 將硅片樣本的切割面標記為磨削面,磨削面表面為圓形; 設定投射時間間隔,記為Q; 設置投射光源對磨削面進行投射的角度范圍區間,為[0°,180°]; 在磨削面上設置兩條相互垂直的基準線,分別記為基準線P與基準線I; 基準線的交點設置在磨削面的圓心處; 將基準線P標記為縱向線,基準線I標記為橫向線; 在磨削面上,作垂直于縱向線的半圓形截面,標記為截面Z,作垂直于橫向線的半圓截面,標記為截面X; 通過投射光源沿著半圓形截面進行投射,投射方式分為第一投射方式與第二投射方式; 所述第一投射方式為,投射光源沿著截面Z上的邊緣對磨削面進行投射; 所述第二投射方式為,投射光源沿著截面X上的邊緣對磨削面進行投射; 根據兩種投射方式,通過投射光源對磨削面進行投射,獲取第一投射方式與第二投射方式生成的光照分析圖集合,分別記為光照分析圖集合U與光照分析圖集合Y; 所述光照分析圖為,投射光源在某一角度向磨削面進行投射形成的光照區域,該光照區域用于獲取磨削面的凸起區域以及凹陷區域; 凹陷區域由于低于周圍表面,投射光源進行照射時,凹陷的底部無法被直接照亮,導致陰影區域加深,凹陷區域的邊緣較陡,投射光源會在邊緣處聚焦,使得凹陷邊緣出現明亮的高光區域。 2.根據光照分析圖集合U與集合Y,獲取磨削面上的凸起區域與凹陷區域; 在磨削加工階段開始時,針對凸起區域與凹陷區域,執行磨削策略。 3.根據權利要求1所述的單晶硅的磨削
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