權利要求
1.一種多晶硅生產廢水的處理回收系統，其特征在于，其包括廢水管線、吸附樹脂儲料裝置、堿液管線、吸附池、壓濾機、后處理系統、鹽酸管線、脫附池和離心機;所述廢水管線的出水端、所述吸附樹脂儲料裝置的出料口和所述堿液管線的出液口均與所述吸附池的進口連接;所述吸附池的出液口與所述壓濾機的進液口連通，所述壓濾機的出水口與所述后處理系統的氟離子沉降池的進水口連通;所述壓濾機的濾泥出口和所述鹽酸管線的出液端均與所述脫附池的進口連接，所述脫附池的泥漿出口與所述離心機的進泥口連通，所述離心機的樹脂出口與所述吸附池的進口連通。
2.根據權利要求1所述的一種多晶硅生產廢水的處理回收系統，其特征在于，所述后處理系統包括按照廢水處理方向依次連接設置的所述氟離子沉降池、絮凝池、沉淀池、調節池和接觸氧化池;石灰乳藥箱的出口與所述氟離子沉降池的進藥口連通;混凝劑藥箱和絮凝劑藥箱的出口均與所述絮凝池的進藥口連通。
3.根據權利要求2所述的一種多晶硅生產廢水的處理回收系統，其特征在于，其還包括污泥暫存池，所述氟離子沉降池和所述沉淀池的污泥出口均與所述污泥暫存池的進口連通。
4.根據權利要求2所述的一種多晶硅生產廢水的處理回收系統，其特征在于，在所述接觸氧化池內設有曝氣器，所述曝氣器的進風口與外設的曝氣鼓風機的出風口連通。
5.根據權利要求2-4任一所述的一種多晶硅生產廢水的處理回收系統，其特征在于，在所述吸附池、所述脫附池、所述氟離子沉降池、所述絮凝池和所述調節池內分別設置有攪拌機構。
說明書
技術領域
[0001]本實用新型涉及多晶硅生產廢水處理回收技術領域，特別涉及一種多晶硅生產廢水的處理回收系統。
背景技術
[0002]電子級多晶硅是集成電路的關鍵基礎材料，其使用改良西門子法生產，生產過程中會產生大量的清洗廢水，其中含有大量的單質硅，具體的：1、多晶硅生產過程中需要用高純水對反應設備、管道和反應釜等進行定期清洗，以去除在產品硅棒生產過程中附著在上述設備、管道和反應釜內壁上的不定型硅粉;2、在后處理清洗工序，會對破碎后的硅塊進行沖洗;由于破碎過程會產生微細硅粒、硅粉，會影響產品質量，需要用高純水將破碎后硅塊表面的硅粉清除干凈，以減少對后續程序的污染。且
聲明：
“多晶硅生產廢水的處理回收系統” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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編輯：中冶有色網
來源：內蒙古大全半導體有限公司
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2025年07月09日 ~ 11日 
