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> Al預沉積層對金屬有機物化學氣相沉積方法在Si襯底上生長AlN緩沖層和GaN外延層的影響
標題:Al預沉積層對金屬有機物化學氣相沉積方法在Si襯底上生長AlN緩沖層和GaN外延層的影響