疊加SE的堿拋光太陽(yáng)能電池的制備方法及太陽(yáng)能電池

權利要求書(shū)： 1.一種疊加SE的堿拋光太陽(yáng)能電池的制備方法，其特征在于，所述制備方法包括先后進(jìn)行的鏈式濕法氧化和鏈式濕法去PSG。 2.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述鏈式濕法氧化和鏈式濕法去PSG位于所述SE步驟和堿拋光工藝之間。 3.根據權利要求1或2所述的制備方法，其特征在于，所述鏈式濕法氧化和鏈式濕法去PSG使用鏈式設備，按電池片傳送方向依次進(jìn)行氧化、堿洗、第一水洗、去PSG、第二水洗和烘干。 4.根據權利要求1?3任一項所述的制備方法，其特征在于，所述氧化使用硝酸溶液； 優(yōu)選地，所述硝酸溶液的質(zhì)量濃度為60～70％； 優(yōu)選地，所述氧化的溫度為80～120℃； 優(yōu)選地，所述氧化的反應時(shí)間為2～8min； 優(yōu)選地，所述堿洗使用弱堿； 優(yōu)選地，所述弱堿包括氫氧化鉀和/或氫氧化鈉； 優(yōu)選地，所述弱堿的質(zhì)量濃度為1～5％； 優(yōu)選地，所述去PSG的溶液包括HF溶液； 優(yōu)選地，所述去PSG的溶液的質(zhì)量分數為5～15％； 優(yōu)選地，所述鏈式濕法氧化和鏈式濕法去PSG使用滾輪帶液的方式去除所述電池片表面的氧化層。 5.根據權利要求1?4任一項所述的制備方法，其特征在于，所述制備方法包括：硅片依次進(jìn)行制絨、擴散、SE、鏈式濕法氧化和鏈式濕法去PSG、堿拋光清洗刻蝕、熱氧化退火、背鈍化、正面減反射、激光開(kāi)槽、絲網(wǎng)印刷、燒結和電注入，從而制備太陽(yáng)能電池。 6.根據權利要求5所述的制備方法，其特征在于，所述制絨包括通過(guò)制絨硅片表面形成陷光結構，得到硅片A； 優(yōu)選地，所述制絨得到的絨面的反射率為8～10％； 優(yōu)選地，所述擴散包括通過(guò)擴散形成PN結，得到具有輕摻雜區域的硅片B； 優(yōu)選地，所述擴散得到的所述輕摻雜區域的方阻為110～170Ω； 優(yōu)選地，通過(guò)所述SE步驟包括在所述硅片B的表面的輕摻雜區域形成選擇性重摻雜區域，得到硅片C； 優(yōu)選地，所述重摻雜區域的方阻為50～80Ω； 優(yōu)選地，對所述硅片C進(jìn)行所述鏈式濕法氧化和鏈式濕法去PSG，得到硅片D。 7.根據權利要求5或6所述的制備方法，其特征在于，所述堿拋光清洗刻蝕包括使用堿溶液拋光所述硅片D的背面，得到硅片E； 優(yōu)選地，所述堿溶液包括氫氧化鈉溶液和/或氫氧化鉀溶液； 優(yōu)選地，所述堿溶液的質(zhì)量濃度為10～15％； 優(yōu)選地