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低溫共燒多層壓電陶瓷及其制備方法

1121   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 14:29:44
本發明是一種低溫共燒多層壓電陶瓷，其材料主要組成為yPb(ZrxTi1-x)O3—(1-y-z)Pb(Mn1/3Sb2/3)O3—zPb(Zn1/3Nb2/3)O3，另外添加適量的CuO做助熔劑，以實現多層膜低溫燒結。其中，x值為0.40-0.60，y值為0.60-0.88，z值為0.02-0.1，CuO的百分含量為0-0.05。多層膜采用流延法制備，110-500℃之間進行排膠，830-850℃低溫燒結，得到高致密度的多層壓電陶瓷，壓點性能測試三層結構的壓電多層膜陶瓷表觀d33≥875Pc/N，遠高于同成分單層陶瓷的d33值（306Pc/N）。本發明實現了低溫燒結，避免了高溫燒結的耗能大、成本高、組分偏差以及PbO的揮發造成的環境污染問題，且壓電性能優良，d33≥875Pc/N，介電常數3000-6000，機電耦合系數K31≥0.56，滿足多層壓電陶瓷器件要求。
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