1.本實用新型涉及一種晶圓分選機部件，具體地說，是一種晶圓分選機的一體式托盤取收機構。
背景技術：
2.晶圓是指制作硅半導體積體電路所用的硅晶片，由于其形狀為圓形，故稱為晶圓。晶圓加工過程中，由于外界因素會導致生產的晶圓種類和質量有所不同，通常在自動光學檢測機中進行aoi測試，對晶圓的種類、質量進行檢測后，然后依據種類及質量的不同對晶圓進行分選，把不同的晶圓分隔開來。
3.目前，晶圓的分選工藝主要是通過人工進行分選，分選工人需要對每片晶圓進行仔細檢查后進行歸類放置，不但分選效率低，勞動強度大，分選成本高，且人工分選無法對襯底號進行排序，在分選過程中，由于人員操作不細心等各種主觀原因易導致分選錯誤，且在分選時易對晶圓造成劃傷，會導致晶圓直接報廢或降級處理，直接影響晶圓的生產質量及產品合格率。因此，開發一種晶圓自動分選機，不但具有迫切的研究價值，也具有良好的經濟效益和工業應用潛力。
4.在晶圓分選機的工作循環中，晶圓需要裝載在托盤進行檢測上下料作業，故托盤的取收是一個重要的工作部分，傳統的自動化晶圓分選設備中采用的是取收分離式的供料機構，取盤機構和放盤機構分列在分選機構的兩端，這種分離式的托盤供料取收機構不利于機構的精簡，會延長整體設備的長度。
技術實現要素：
5.發明目的：本實用新型目的在于針對現有技術的不足，提供一種晶圓分選機的一體式托盤取收機構。
6.技術方案：本實用新型所述一種晶圓分選機的一體式托盤取收機構，包括取收平臺以及架設在取收平臺上的取盤機構和收盤機構，所述取盤機構包括取盤驅動軌道和架設在取盤驅動軌道頂端的供盤彈夾倉，所述收盤機構包括收盤驅動軌道和架設在收盤驅動軌道頂端的收盤彈夾倉，所述取盤驅動軌道和收盤驅動軌道平行設置且供盤彈夾倉和收盤彈夾倉分別設置在取盤驅動軌道和收盤驅動軌道的同一端。
7.作為優選的，所述取盤驅動軌道包括取盤軌道和緊貼取盤軌道兩側壁的取盤帶式輸送機，所述收盤驅動軌道包括收盤軌道和緊貼收盤軌道兩側壁的收盤帶式輸送機。
8.作為優選的，所述取盤帶式輸送機一側設有配合的托盤精定位裝置。
9.作為優選的，所述托盤精定位裝置包括架設在取盤帶式輸送機一側的伸縮定位頂桿。
10.作為優選的，所述供盤彈夾倉包括供盤夾具以及架設在供盤夾具上的供料托舉組件和阻擋氣缸，所述收盤彈夾倉包括收盤夾具以及架設在收盤夾具上的收料托舉組件和防
聲明：
“晶圓分選機的一體式托盤取收機構的制作方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
1743
編輯：中冶有色網
來源：蘇州博康智能科技有限公司
分享 0
舉報 0
收藏 0
反對 0
點贊 0
2025年08月05日 ~ 07日 
