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PECVD上料區防撞舟保護裝置

861   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:00:54
本實用新型涉及PECVD上料區防撞舟保護裝置。目前，太陽能光伏領域PECVD上料設備的上料區域只有一個光電傳感器，一旦光電傳感器失效，就無法檢查到推入設備中的小車上有無石墨舟，將會存在嚴重的安全隱患。本實用新型的PECVD上料區防撞舟保護裝置，其中：上料設備通過導線與繼電器串聯，繼電器通過導線分別與Ⅰ號光電傳感器和Ⅱ號光電傳感器串聯，Ⅰ號光電傳感器與Ⅱ號光電傳感器通過導線并聯。本實用新型的優點：在上料區增加一個光電傳感器，作為雙重保護。通過改進后，能夠在一個傳感器失效后，通過另一個傳感器檢測，保護石墨舟和機械臂的安全，是設備運行更穩定。采用簡單有效的方法改進，節約成本，又便于維護保養。
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