PECVD上料區防撞舟保護裝置

本實(shí)用新型涉及PECVD上料區防撞舟保護裝置。目前，太陽(yáng)能光伏領(lǐng)域PECVD上料設備的上料區域只有一個(gè)光電傳感器，一旦光電傳感器失效，就無(wú)法檢查到推入設備中的小車(chē)上有無(wú)石墨舟，將會(huì )存在嚴重的安全隱患。本實(shí)用新型的PECVD上料區防撞舟保護裝置，其中：上料設備通過(guò)導線(xiàn)與繼電器串聯(lián)，繼電器通過(guò)導線(xiàn)分別與Ⅰ號光電傳感器和Ⅱ號光電傳感器串聯(lián)，Ⅰ號光電傳感器與Ⅱ號光電傳感器通過(guò)導線(xiàn)并聯(lián)。本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)：在上料區增加一個(gè)光電傳感器，作為雙重保護。通過(guò)改進(jìn)后，能夠在一個(gè)傳感器失效后，通過(guò)另一個(gè)傳感器檢測，保護石墨舟和機械臂的安全，是設備運行更穩定。采用簡(jiǎn)單有效的方法改進(jìn)，節約成本，又便于維護保養。