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區分PMOS柵極與源漏極或N阱之間漏電的方法

749   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:00:37
本發明涉及一種區分PMOS柵極與源漏極或N阱之間漏電的方法，所述方法包括如下步驟：使用納米點針對失效PMOS進行2針漏電測試，其中一針扎在柵極上，另一針扎在N阱上，從而測量柵極到N阱是否存在漏電，得到電流?電壓曲線圖。如果所述電流?電壓曲線為正比斜線，則柵極與N阱之間存在漏電；如果所述電流?電壓曲線為二極管開啟曲線，則柵極到源漏極短路。本發明的區分PMOS柵極與源漏極或N阱之間漏電的新方法，能夠解決同類型案例分析技術難題，提高失效分析工作成功率，節約人力成本和機臺使用時間。
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聲明：
“區分PMOS柵極與源漏極或N阱之間漏電的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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