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用于砷化鎵半導體的結染色溶液及其結染色方法

919   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:00:37
本發明提供一種用于砷化鎵半導體的結染色溶液及其結染色方法，所述結染色溶液包括由重量比值為1.5～4的硫酸(H2SO4)和過氧化氫(H2O2)組成，并在40～60℃的溫度范圍下混合制成的第一溶液，以及由重量比值為0.5～7的檸檬酸(C6H8O7)和過氧化氫(H2O2)組成，并在5～20℃的溫度范圍下混合制成的第二溶液。借此，利用第一溶液、第二溶液進行二次選擇性蝕刻，以克服現有結染色溶液一次性蝕刻所導致的反應過激問題，并完成砷化鎵半導體的結染色操作，且通過本發明結染色方法能夠使砷化鎵半導體的摻雜區域顯現，并于光學顯微鏡與掃描式電子顯微鏡下皆可觀測出明顯輪廓，利于進行半導體的失效分析。
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