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多功能樣品臺

756   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:00:37
本發明公開了一種多功能樣品臺，包括：樣品臺本體，其中，所述樣品臺本體采用非磁性材料或者非導體材料制成，所述樣品臺本體為半圓柱形且所述半圓柱形樣品臺本體的切面上開設有至少一個窗口。本發明的多功能樣品臺可以應用于現有的FIB和TEM系統中，同時還可以實現樣品的原子位FIB剝層，納米探針電測試和TEM分析三步失效分析工藝的有效集成。即在整個失效分析的流程中，不需要樣品轉移，因此，本發明的多功能樣品臺可以提高整個失效分析流程的成功率和效率，避免和減少樣品在失效分析工作中的破損，丟失和污染。
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聲明：
“多功能樣品臺” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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失效分析
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