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GCT芯片門/陰極阻斷特性圓周法測試臺

747   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:00:17
本發明是一種GCT芯片門/陰極阻斷特性圓周法測試臺。采用圓周轉動測試方法，設計中采用了高精度的三維移動平臺、步進電機驅動的旋轉平臺和探針座，配以CCD視頻顯微鏡進行設備調整和測試過程監控，設計的C型機架和架空平臺以構成較好的人機操作結構，配以不同規格專門設計的載片定位夾具滿足不同尺寸芯片測試需要。該測試臺通過在GCT芯片生產中的應用，在可靠性、檢測準確性和高效率等方面滿足規?；a的測試需要。本測試臺就是為滿足GCT芯片的門/陰極之間數千只二極管特性進行直流電壓阻斷測試，以高效、準確地篩選出個別失效器件，并做以標識，為后續工藝修補提供可能性。
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“GCT芯片門/陰極阻斷特性圓周法測試臺” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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