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用于測試集成電路的探針卡

808   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
2023-03-19 09:00:17
本發明公開了一種用于測試集成電路的探針卡,包括探針座和檢測電路板,所述探針上成型有止擋部,止擋部的下端抵靠在一彈性袋殼上,所述彈性袋殼中填充有氣體,彈性袋殼上成型有出氣口,所述出氣口上鉸接有密封門,密封門一側的探針孔側壁上成型有通氣槽,通氣槽的側壁上設有氣推活塞塊,所述氣推活塞塊將通氣槽分隔為通氣區和復位區,所述復位區內設有復位彈簧,所述復位彈簧的一端壓靠在氣推活塞塊上、另一端壓靠在通氣槽的端部內側壁上;所述探針孔內插接有豎直的導電片,所述導電片的上端活動連接在止擋部上、下端連接在檢測電路板上。本發明結構簡單,制造及組裝方便,同時能避免傳統探針卡內彈簧機械疲勞失效而造成接觸不良。
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