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彩色顯像管殘余氣體分析設備

743   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:59:56
本實用新型提供了一種彩色顯像管殘余氣體分析設備,它包括抽氣裝置、質譜分析裝置和取樣裝置。抽氣裝置包括順序相連的機械泵、吸附阱和分子泵,分子泵的進口端分別通過管路與質譜分析裝置和取樣裝置連通。質譜分析裝置包括四極質譜計、超高真空電離規、濺散離子泵和質譜分析室,四極質譜計、超高真空電離規和濺散離子泵分別通過管路與質譜分析室連通,質譜分析室還通過管路分別與抽氣裝置的分子泵和取樣裝置連通。取樣裝置為取樣管道。利用本分析設備能分析出彩色顯像管內的殘余氣體成分及其分壓力,還能在較短時間內測量出彩色顯像管的掃屏放氣性能,用其判定彩色顯像管的內在真空質量,進而判定或比較制屏工藝與材料包括排氣工藝與設備的優劣,預估因真空因素導致失效的整管壽命水平,具有實際應用價值。
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