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擠出失效監視器結構及其方法

1065   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:59:38
本發明涉及擠出失效監視器結構及其方法。一種用于監視擠出失效的結構和方法。所述結構包括:具有第一和第二端的測試布線;接觸所述測試布線的第一和第二端的第一和第二過孔;與所述測試布線電隔離并圍繞所述測試布線的周邊的第一監視器結構;以及在所述測試布線之上的第二監視器結構,所述第二監視器結構與所述測試布線電隔離,所述第二監視器結構在所述測試布線的至少所述第一端之上延伸。
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