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電學失效分析方法及相關裝置

839   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:59:29
本申請提供一種電學失效分析方法，包括：獲取晶圓的各個失效晶粒的失效日志；根據失效晶粒的失效日志中高頻測試結果和低頻測試結果，確定各個高頻主導失效晶粒和各個低頻主導失效晶粒；獲取當前高頻主導失效權重值；根據各個高頻主導失效晶粒的各個結構層的高頻失效尺寸、各個低頻主導失效晶粒的各個結構層的低頻失效尺寸、當前高頻主導失效權重值和晶圓的各個結構層的設計尺寸，獲取各個結構層的失效偏差值，根據失效偏差值和預定偏差閾值，調整當前高頻主導失效權重值，直至至少一個結構層的失效偏差值滿足預定偏差閾值，獲取與最大的失效偏差值相對應的最大失效影響層。本申請實施例所提供的電學失效分析方法，可以提高電學失效分析的準確性。
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失效分析
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